HS코드 품목분류 결정례

관세평가분류원

품목분류3과-3304

Al2O3 Tray ; Tray 4Inch(7Pocket) ; CR1RD030476-01N

물품 개요 - 알루미나(Al2O3) 등을 혼합 성형 후 소결(1,645℃)한 유백색의 원반 형상의 제품으로 7개의 웨이퍼용 포켓(∅100mm)이 가공되어 있음 - (규격) 지름 340mm, 두께2.6mm, 450g, 모스경도 9이상, Al2O3 99.5% 이상, 내화도 SK36이상(1,800℃), 수분흡수율 0% - (용도) 반도체 MOCVD(유기금속 화학기상증착장비)에 장착되는 소모품으로, 웨이퍼의 위치를 일정하게 유지시켜 공정 안전성과 반복성 확보 ㅇ (제조공정) POWDER 입고 → SLURRY MIX → 스프레이 드라이(슬러리를 구형의 건조 입자로 전환) → CIP성형(고무 몰드에 넣은 형성체를 액체 압력(2000~3000 bar)으로 전방향 압축 성형체화) → Green가공(포켓 등의 일부 형상 황삭가공) → 소결(1,645℃) → Crack검사 → 두께 가공 → MCT가공 → 후처리 → 검사 → 세정 → 포장 ㅇ 기능 및 작동원리 - MOCVD 장비 Susceptor 위에 거치되며, 웨이퍼 7장을 안정적으로 고정하고 웨이퍼의 온도를 균일하고 일정하게 가열하게 함 (※MOCVD공정온도: 화주제시 자료(1,000∼1,200℃)/업계자료(500∼1,500℃)) - 로딩·언로딩 시 자동 핸들링 로봇이 Tray를 인식하여 웨이퍼를 옮기거나 다시 회수 처리함 (※ 신청물품 장착 관련 자료 미제출)