전체 34,271건
HS코드 | |
결정일 | 2025-04-24 |
기관 | 관세평가분류원 |
문서번호 | 품목분류1과-1221 |
품명 | MASS FLOW CONTROLLER; FCSDST2050C-4CW2-F5; NI192132; |
물품 | (개요) 이온주입설비(IMPHEAT II) 중 이온을 생성하는 Shield cabinet의 Gas box에 장착되어 가스 유량을 조절하는 기기 (기능) Gas box에 장착되어 Ion Source chamber에 이온생성을 위한 가스를 설정한 값대로 일정하게 흐르도록 유량을 조절함 (구성 요소) ① 유량센서 : 가스 유입에 따른 온도 차를 이용하여 유량 감지. ② 브릿지회로 : 유량센서에서 검출된 온도변화를 전기신호로 변환. ③ 증폭회로 : 전기신호를 증폭. ④ 비교제어회로 : 유량센서의 측정값과 설정값을 비교. ⑤ 유량 제어 밸브 : 비교값에 따라 Piezo actuator를 이용하여 가스 유량 조절 ⑥ seal : Gas의 누출 방지 |
분류 근거 |
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출처
결정례는 해당 신청 물품에 대한 결정입니다. 다른 물품의 분류를 보장하지 않는 참고 자료입니다.