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품명 | Butterfly Pressure Control Valve; 61340-PAAQ-AXO1; Series 613; CH; |
물품 | 물품개요 측정값과 설정값을 비교하여 조절된 압력신호를 엑추에이터로 출력하는 컨트롤러, 밸브 구동 액추에이터, 버터플라이 밸브 본체가 결합된 물품으로, 반도체 박막증착 공정의 진공챔버와 진공펌프 사이에 장착 사양 : 센서입력(2개), 엑추에이터(DC stepper motor, rotary motion), 제어방식(PID), 접속방식(Devicenet intrface) 기능 및 작동원리 진공챔버 내부의 센서(미제시)로부터 입력받은 가스 압력 측정값을 외부 호스트 PC로부터 입력받은 설정값과 서로 비교하고, 설정값이 유지되도록 밸브 개폐를 정밀하게 조절하여 공정챔버 내부의 압력을 일정하게 조정함 |
분류 근거 | - 관세율표 제90류 주 제3호에서 “제16부의 주 제3호와 제4호는 이 류에도 적용한다.”라고 규정하고 있으며,
- 제16부 주 제3호에서 “두 가지 이상의 기계가 함께 결합되어 하나의 완전한 기계를 구성하는 복합기계와 그 밖의 두 가지 이상의 보조기능이나 선택기능을 수행할 수 있도록 디자인된 기계는 문맥상 달리 해석되지 않는 한 이들 요소로 구성된 단일의 기계로 분류하거나 주된 기능을 수행하는 기계로 분류한다.”라고 규정하고 있음
- 본 물품은 측정값을 입력받아 설정값과 비교하고 설정값이 유지될 수 있도록 제어신호를 출력하는 ‘컨트롤러(자동조절기기)’와 ‘밸브’가 결합된 복합기기로, 챔버 내부의 압력을 안정적인 희망치로 유지하기 위해 사용되므로 주된 기능은 컨트롤러에 있다고 판단됨
- 관세율표 제9032호에는 “자동조절용이나 자동제어용 기기”가 분류되며, 제9032.20호에는 “매노우스타트”가 세분류되며,
- 같은 호 해설서 “(Ⅰ) 액체나 기체의 유량ㆍ깊이ㆍ압력이나 그 밖의 변량의 자동제어용 기기 …”에서 액체나 기체용의 자동제어용 기기는 “완전한 자동제어용 기기의 일부를 형성하고 있으며 주로 다음의 장치로 구성한다.
- (A) 탱크의 압력이나 깊이, … 등의 조절해야 할 변량을 측정하는 기기 …
- (B) 희망치와 측정치를 비교하고 … (C)에 기재된 장치를 작동시키는 제어 장치
- (C) 기동 장치․정지 장치ㆍ조작 장치(operating device)”라고 설명하면서,
- “자동조절기기가 명령을 수행하는 기기와 결합이 된 경우에는 전체의 품목분류는 통칙 제1호나 통칙 제3호 나목에 의해 결정한다(총설 16부의 (Ⅲ)과 제8481호의 해설 참조).”라고 설명하고 있음
- 또한, 같은 호 해설서에서 “(A) 압력제어기(pressure controller)나 조정기(regulator) : 이것은 기체정류량장치(manostats)로도 불리며, 주로 압력 감응기․지시된 압력과 조정해야 될 압력과 비교(예: 조정 가능한 스프링에 의하여)하는 조절장치ㆍ제어회로를 조작시키는 전기접점이나 작은 밸브로 구성되어 있다.
- ”라고 설명하고 있음
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