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품명 | Pendulum control & isolation valve; 65351-JACX-CFJ1; Series 653; CH; |
물품 | 물품개요 측정값과 설정값을 비교하여 조절된 압력신호를 엑추에이터로 출력하는 컨트롤러, 밸브 구동 액추에이터, 펜듈럼 밸브 본체가 결합된 물품으로 반도체 식각공정의 진공챔버와 진공펌프 사이에 장착 사양 : 센서입력(2개), 엑추에이터(DC stepper motor, linear motion), 제어방식(PID), 접속방식(EtherCAT interface) 작동원리 진공챔버 내부의 센서(미제시)로부터 입력받은 가스 압력 측정값을 외부 호스트 PC로부터 입력받은 설정값과 서로 비교하고, 설정값이 유지되도록 밸브 개폐를 정밀하게 조절하여 공정챔버 내부의 압력을 일정하게 조정함 |
분류 근거 | - 관세율표 제90류 주 제3호에서 “제16부의 주 제3호와 제4호는 이 류에도 적용한다.”라고 규정하고 있으며,
- 제16부 주 제3호에서 “두 가지 이상의 기계가 함께 결합되어 하나의 완전한 기계를 구성하는 복합기계와 그 밖의 두 가지 이상의 보조기능이나 선택기능을 수행할 수 있도록 디자인된 기계는 문맥상 달리 해석되지 않는 한 이들 요소로 구성된 단일의 기계로 분류하거나 주된 기능을 수행하는 기계로 분류한다.”라고 규정하고 있음
- 본 물품은 측정값을 입력받아 설정값과 비교하고 설정값이 유지될 수 있도록 제어신호를 출력하는 ‘컨트롤러(자동조절기기)’와 ‘밸브(엑추에이터 포함)’가 결합된 복합기기로, 챔버 내부의 압력을 안정적인 희망치로 유지하기 위해 사용되므로 주된 기능은 컨트롤러에 있다고 판단됨
- 관세율표 제9032호에는 “자동조절용이나 자동제어용 기기”가 분류되며, 제9032.20호에는 “매노우스타트”가 세분류되며,
- 같은 호 해설서 “(Ⅰ) 액체나 기체의 유량ㆍ깊이ㆍ압력이나 그 밖의 변량의 자동제어용 기기 …”에서 액체나 기체용의 자동제어용 기기는 “완전한 자동제어용 기기의 일부를 형성하고 있으며 주로 다음의 장치로 구성한다.
- (A) 탱크의 압력이나 깊이, … 등의 조절해야 할 변량을 측정하는 기기 …
- (B) 희망치와 측정치를 비교하고 … (C)에 기재된 장치를 작동시키는 제어 장치
- (C) 기동 장치․정지 장치ㆍ조작 장치(operating device)”라고 설명하면서,
- “자동조절기기가 명령을 수행하는 기기와 결합이 된 경우에는 전체의 품목분류는 통칙 제1호나 통칙 제3호 나목에 의해 결정한다(총설 16부의 (Ⅲ)과 제8481호의 해설 참조).”라고 설명하고 있음
- 또한, 같은 호 해설서에서 “(A) 압력제어기(pressure controller)나 조정기(regulator) : 이것은 기체정류량장치(manostats)로도 불리며, 주로 압력 감응기․지시된 압력과 조정해야 될 압력과 비교(예: 조정 가능한 스프링에 의하여)하는 조절장치ㆍ제어회로를 조작시키는 전기접점이나 작은 밸브로 구성되어 있다.
- ”라고 설명하고 있음
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