HS코드 품목분류 결정례

관세평가분류원

품목분류4과-5259

Ta Target with Backing Plate; Ta Encorell Target; Ta Encorell; 4N5 (99.995%)

탄탈륨(99.995%) 재질의 타겟(Target)과 구리 합금 재질의 백킹플레이트 (Backing Plate)가 일체로 결합된 원판형의 물품으로, 반도체 제조용 스퍼터링 장비에 장착되어 웨이퍼에 타겟 성분인 탄탈륨 증착에 사용 - 구성성분 · 타겟(Target) : Ta 99.995% · 백킹플레이트(Backing Plate) : Cu Alloy - 기능 · 타겟(Target) : 웨이퍼 위에 탄탈륨을 증착되게 하는 역할 · 백킹플레이트(Backing Plate) : Chamber 상부와 Target의 정밀결합, 증착 공정 시 Target 냉각 기능 수행 크기 : D523.8.mm x T25.4mm