전체 34,271건
HS코드 | |
결정일 | 2025-06-10 |
기관 | 관세평가분류원 |
문서번호 | 품목분류4과-2556 |
품명 | Indexer Unit; Indexer Unit; BM3-7880-000; JP; |
물품 | 물품개요 반도체용 노광장비 내 Reticle Changer Unit부분에 장착되어, 상부에 SMIF Reticle를 탑재한 후 일정한 위치까지 하강시키는 역할을 하는 물품 물품의 구성요소 및 구성요소별 기능 ① 상태표시 LED : Power, Ready, Pod in Place 3개의 LED로 구성되며, 현재의 상태를 나타내는 기능을 수행함 ② 배기 Fan : Particle을 배기하여 Reticle의 오염을 방지하는 기능을 수행함 ③ Interface : 전원 및 통신 포트가 있어, 노광장비의 Console로부터 구동명령을 수신하고, 전원을 공급하게 하는 기능을 수행함 ④ Elevator Motor : 내부에 DC Servo Motor가 있어, Pod Plate를 상하로 구동하게 하는 기능을 수행함 ⑤ Pod 인식 센서 : Laser 光을 이용하여 Reticle의 유무와 Reticle의 정확한 위치를 측정하는 기능을 수행함 ⑥ Pod Plate : Reticle Pod가 위치하는 부분으로 상하로 구동함 ⑦ 제어 Board : Indexer Unit를 구동하고 제어하는 기능을 수행함 |
분류 근거 |
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출처
결정례는 해당 신청 물품에 대한 결정입니다. 다른 물품의 분류를 보장하지 않는 참고 자료입니다.