HS코드 품목분류 결정례

관세평가분류원

품목분류4과-5006

CHEMICAL CIRCULATOR;NES-3123-7;NES-3123-7

물품개요 - 반도체 제조 공정 내 습식(Wet) 공정에서 사용되는 화학 용액의 온도 안정화를 위한 유체 순환 장치로써 반도체 제조 장비에서 화학약품(세정약품, 슬러리, 에천트 등)의 온도를 직접 정밀 제어 - 반도체 장비의 내부, 외부 인클로저, 하단부 또는 측면에 장착되고 장비 내 Chemical Tank와 Wafer Processing Module에 직접 연결 - 냉각 및 가열은 펠티에 효과에 의한 전류 기반 제어 방식으로 구동 ․ 온도설정범위 : 15℃∼50℃ / 온도조절 정확성 ± 0.1℃ ㆍ Cooling capacity : 810W / Heating capacity : 1980W ※ CHEMICAL CIRCULATOR가 사용되는 장비에서의 역할 - 구성요소별 기능 ∙ 열전소자*(Thermo-Module) : 전자의 이동으로 내부의 화학용액를 냉각/가열하는 유닛 ∙ Heat conducting plate(알루미늄 재질) : 열전모듈 냉각을 위한 판 ∙ PFA(테프론) 배관 : 화학용액의 이동 통로 ∙ Water Cooling Jacket : 가열된 열전모듈의 냉각을 위한 유닛 ∙ Temperature control sensor : 온도 센서로서, 화학용액의 온도를 측정 ∙ 통신 인터페이스 : RS232C 등 외부 장비와의 연동 가능 * 열에너지와 전기에너지의 변환(상호작용)을 행하는 펠티어 소자로, 냉동기나 항온조 제작 등에 사용됨 ㅇ 작동원리 - 화학용액이 배관을 통해 챔버내로 유입 → 열전모듈에서 화학용액을 가열‧냉각(온도변화) → 설정된 온도에 도달하면 다시 배관을 통해 화학용액 유출 ㅇ 주변기기와의 연관도