MASS FLOW CONTROLLER(MFC) — HS 9032.89-4091 품목분류 결정례 | 클립듀티

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HS코드	9032.89-4091
결정일	2024-01-10
기관	관세평가분류원
문서번호	품목분류3과-91
품명	MASS FLOW CONTROLLER(MFC); FC-R7800 SERIES; JP
물품	반도체 제조 시 웨이퍼의 식각 및 증착 공정에 사용되는 가스의 유량을 자동 조절하는 기기로서 내부에 유량센서, PCBA, 솔레노이드 밸브 등으로 구성됨 장착위치 : 반도체 제조 설비의 Gas Box(IGS 판넬) 내부 주요 구성요소 및 기능 ① 유량센서 : 가스 유입에 따른 온도차를 이용해 유량감지 ② PCBA 브릿지회로 : 유량센서에서 검출된 온도변화를 전기신호로 변환 증폭회로 : 브릿지회로에서의 전기신호를 증폭 보정회로 : 증폭회로의 신호를 0~5V의 Linear전압신호로 변환 비교제어회로 : 측정값과 설정값 비교 밸브구동회로 : 밸브 조절 ③ 밸브 : 전자력(코일)을 이용한 솔레노이드밸브를 통해 가스의 유량 조절 유량조절 범위 : 10sccm~200Slm
분류 근거	관세율표 제9032호에는 “자동조절용이나 자동제어용 기기”가 분류되고 소호 제9032.89호에는 액압식이나 공기식이 아닌 그 밖의 자동조절용이나 자동제어용 기기가 분류됨 ․ 같은 호 해설서에서는 이 호에 포함되는 것으로 “액체나 기체의 유량ㆍ깊이ㆍ압력이나 그 밖의 변량의 자동제어용 기기나 온도의 자동 제어용 기기 : 작동이 자동으로 제어되는 요소에 따라 변화하는 전기적 현상에 달려있는지에 상관없다. 이들 요소의 실제 값을 지속적으로나 주기적으로 측정하여 장해에 대해 안정적인 희망치(descired value)로 만들고 유지하도록 설계되어 있다.”라고 설명함 본 물품은 반도체 제조장비에 장착되어 웨이퍼의 식각 및 증착 공정에 사용되는 기체의 유량을 자동으로 조절해주는 유량자동조절기임(유량조절 범위 : 10sccm~200Slm)

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출처

관세평가분류원 품목분류 결정례 (관세청) · 관세법 제86조에 따라 공표된 품목분류 결정

결정례는 해당 신청 물품에 대한 결정입니다. 다른 물품의 분류를 보장하지 않는 참고 자료입니다.