전체 34,271건
HS코드 | |
결정일 | 2024-02-19 |
기관 | 관세평가분류원 |
문서번호 | 품목분류3과-630 |
품명 | MASS FLOW CONTROLLER(MFC); FC-DR980 SERIES; JP; |
물품 | 반도체 제조 공정 중 웨이퍼의 식각 및 증착에 사용하는 가스를 일정하게 공급해주는 유량 자동조절기기로, 유량센서, 피에조 밸브, PCBA 등으로 구성됨 장착위치 : 반도체 제조설비의 Gas Box(IGS 판넬) 내부 유량 조절범위 : 10sccm* ∼ 50slm Standard cubic centimeter per min 기능 : 열식센서를 통해 피에조 밸브를 개폐함으로써 유량 조절 (신청물품) 내부 구성요소 및 기능 ① 유량센서 : 가스 유입에 따른 온도차를 이용해 유량을 감지하는 열식센서 ② Piezo밸브 : 적층피에조 소자에 공급되는 전압에 의해 상하 확장되는 성질을 이용하여 메탈 다이아프램 밸브를 구동 ③ PCBA 전기회로 브릿지회로 : 유량센서에서 검출된 온도 변화를 전기신호로 변환 증폭회로 : 브리지회로에서 변환된 전기신호를 증폭 보정회로 : 증폭된 전기신호를 선형 전압신호로 변환하여 비교제어회로에 출력 비교제어회로 : 외부에서 입력된 유량설정 전압신호와 비교한 후, 필요에 따라 밸브구동회로를 구동 밸브구동회로 : 설정값과 출력신호의 차가 0이 되도록 밸브를 개폐시킴 (장착위치) |
분류 근거 |
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출처
결정례는 해당 신청 물품에 대한 결정입니다. 다른 물품의 분류를 보장하지 않는 참고 자료입니다.