전체 34,271건
HS코드 | |
결정일 | 2024-03-20 |
기관 | 관세평가분류원 |
문서번호 | 품목분류4과-1573 |
품명 | HEATER ESC; NI181454; 12 INCH; |
물품 | 반도체 제조용 이온주입 장비의 챔버에 장착되는 ESC(Electrostatic chuck)로 Substrate, Emboss, Electrode, Heater 등으로 구성된 원형 형상의 물품 (용도) 정전기력을 발생하여 Wafer를 흡착하고 공정상 Wafer의 온도를 500도까지 올리는 기능 주요 구송요소 및 기능 ․Substrate : ESC 바디로 내부에 Elctrode 및 heater가 장착되고 내부에 냉각 채널이 형성되어 있음(Graphite + SUS) ․Emboss : 엠보싱된 상단 플레이트로 Wafer에 접촉되는 단면적을 줄여 Back side particle을 최소화함(Pyrolytic Boron Nitride) ․Electrode : 정전기력이 발생하도록 전압을 인가하는 부분 ․Heater : ESC의 온도를 올리기 위해 전류를 인가하는 부분 |
분류 근거 |
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출처
결정례는 해당 신청 물품에 대한 결정입니다. 다른 물품의 분류를 보장하지 않는 참고 자료입니다.