전체 34,271건
HS코드 | |
결정일 | 2023-03-21 |
기관 | 관세평가분류원 |
문서번호 | 품목분류4과-11903 |
품명 | SEMICONDUCTOR DEVICES WAFER SORTING AND TRANSPOPTING MACHINES; 3S Sorter; |
물품 | 반도체 제조라인에서 FOUP*와 FOUP, FOSB**와 FOSB 사이에서 Wafer 이송, Wafer ID의 판독 및 ID별 분류, Wafer의 Notch 정렬을 수행하는 장비 FOUP(Front Opening Unified Pod, 공정내 웨이퍼 운송용기) FOSB(Front Opening Shipping Box, 공정외 웨이퍼 운송용기) 주요 구성요소 및 기능 Load port : FOUP 및 FOSB를 Load/Unload하는 Unit Robot : 300mm Wafer를 이동하는 Unit Robot Controller : 로봇을 제어하는 Unit |
분류 근거 |
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출처
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