HS코드 품목분류 결정례

관세평가분류원

품목분류4과-14041

New Laser Repair; Sculptor1416M

(개요) 평판 디스플레이 제조용 포토마스크에 발생된 결함을 레이저를 이용하여 수리하는 장비 석영재질 유리기판 위에 금속계 크롬을 이용하여 패턴을 형성하여 포토마스크를 제작하는데, 이 때 패턴에 결함*이 발생하는 경우 레이저 또는 레이저와 가스를 이용하여 패턴 결함을 수정 (결함종류) ① 투명결함 : CR 패턴이 있어야 할 부분에 패턴이 없는 경우, 레이저와 Cr(CO)6 가스를 이용하여 수정막 형성(Binary CVD 공정) ② 불투명결함 : CR 잔류물이 남거나 이물질이 남은 경우 레이저로 제거(ZAP 공정) ③ 반투명결함(Half-tone) : Half-tone 패턴이 있어야 할 부분에 패턴이 없는 경우, 레이저와 Cr(CO)6 가스를 이용하여 수정막 형성(HT-CVD 공정) (구성) ① Main Unit : 포토마스크를 안착 및 이동시키고 레이저 발생, 광 강도 조절 및 Cr(CO)6 가스를 공급하여 포토마스크 수리 진행 ② Load/Unload Unit : 포토마스크를 Main Unit으로 loading/unloading ③ Load/Unload Panel : ②을 제어하기 위한 통신 유닛, 모듈 ④ Control Box : 설비 동작 제어를 위한 각종 전기부품(콘센트, 릴레이, PLC 모듈, 모터드라이버와 레이저 출력조정을 위한 레이저 콘트롤러 포함 ⑤ Operation desk : 포토마스크 수리를 위한 레이저 장치 가동 등 조작을 위한 PC 시스템, 모니터, Operation panel, 비상스위치 등으로 구성 ⑥ Pump Unit : CVD 수정 공정 시 발생되는 가스 배출