전체 34,271건
HS코드 | |
결정일 | 2023-04-07 |
기관 | 관세평가분류원 |
문서번호 | 품목분류4과-12144 |
품명 | SPUTTERING SYSTEM; SIV-500; W8700mm * D5700mm * H2230mm; JP; |
물품 | Ceramic 기판 등의 양면에 Ti, Al 막을 Sputtering*하는 장비 금속 Target을 이용하여 플라즈마 상태에서 Metal 막을 얇게 입히는 것 (용도) 전력반도체용의 방열기판(화주제시용도), LED Device, 필름, 2차 전지 제조, 전자제품 제조(카달로그제시 용도) 등 다양한 산업에 적용 주요 구성요소 및 기능 이재기 : Substrate를 Carrier Holder에 탑재하는 반송기구 Cassette : Substrate 30매를 보관하는 Box 이재기 Robot : Substrate를 Cassette로부터 Holder에 옮기는 기구 Loadlock Chamber : 진공장치의 공정진행의 효율을 위해 Process Chamber와 대기 사이의 진공과 배기를 반복하는 곳 Process Chamber : Ti, Al sputtering이 수행되는 챔버 진공펌프 : Loadlock Chamber, Process Chamber 내의 진공 배기 · |
분류 근거 |
|
이 코드의 다른 결정례25
출처
결정례는 해당 신청 물품에 대한 결정입니다. 다른 물품의 분류를 보장하지 않는 참고 자료입니다.