HS코드 품목분류 결정례

관세평가분류원

품목분류3과-4207

MICROSCOPE ; L300ND ; For 17-inch FPD

주요 특성 반도체 웨이퍼 및 다이의 표면을 관찰하여 불량을 검출하는 데 사용하는 광학식 현미경 반사·편광·자외선·암시야 방식으로 샘플을 관찰 현미경 본체만 제시되었으며, 별도의 디지털 카메라가 부착되지 않음. (수입 후 국내에서 디지털 카메라와 PC를 연결하여 사용) 또한, 반도체 웨이퍼나 레티클의 취급과 이송용으로 고안된 장치가 부착되지 않음.(손으로 직접 샘플을 옮겨서 사용) <물품 사진> 주요 구성요소 메인바디 : 현미경 본체. 회전 가능한 대물렌즈의 어댑터가 장착 대물렌즈 : 최대 6개의 대물렌즈 장착 가능 접안렌즈 : 2개의 접안렌즈를 통해 샘플 관찰 제 물 대 : 12인치 웨이퍼 대응. 측정거리 350*300mm 광 원 : 12V/50W 할로겐 광원에서 빛 조사 작동 원리 반사 관찰 방법 : 별도의 필터 없이 빛을 샘플에 조사하여 반사된 반사광 관찰 편광 관찰 방법 : Analyzer, Polarizer 칩을 본체에 삽입하면 Optical path(광 경로)에 Analyzer, Polarizer가 위치하게 됨. 이때 빛을 편광시켜 일정한 방향으로 진동하는 투과광을 관찰 자외선 관찰 방법 : 자외선을 내는 광원에 형광필터를 걸어 유효하게 형광을 발하는 자외선을 시료에 조사하여 관찰 암시야 관찰 방법 : 배경을 어둡게 한 뒤, 빛을 시료 아래에서 조사하여 투과된 광선을 이용하여 관찰.