전체 34,271건
HS코드 | |
결정일 | 2022-03-02 |
기관 | 관세평가분류원 |
문서번호 | 품목분류4과-1260 |
품명 | ELECTRO STATIC CHUCK(CHUCK-P1C-SMS-01) |
물품 | (개요) 반도체 웨이퍼 건식 식각(ething) 장비에 장착되어 정전력을 이용하여 웨이퍼를 하부 전극에 고정하는 정전식 척(chuck)으로, 원형의 알루미늄 바디 상부에 세라믹 척 플레이트가 결합된 형태 (세부구조) 세라믹 척 플레이트, 접착층, 알루미늄 바디의 3층 구조로, 세라믹 척 플레이트 상부에는 웨이퍼 흡착을 위한 전극이 있고 아노다이징(anodizing) 알루미늄 바디에는 He(헬륨)가스 유로 및 냉각 채널이 형성되어 있음 (작동원리) 척(chuck) 내부에 고전압 직류를 인가하면 척 플레이트 표면이 양전하 또는 음전하로, 웨이퍼 표면 또한 음·양전하로 대전되어 상호 기전력을 통해 웨이퍼를 수평으로 지지·고정 |
분류 근거 |
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이 코드의 다른 결정례2
출처
결정례는 해당 신청 물품에 대한 결정입니다. 다른 물품의 분류를 보장하지 않는 참고 자료입니다.