분류 근거 | - 관세율표 제8486호에는 “전자집적회로의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계”가 분류되고, 소호 제8486.20호에 “반도체디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기“가 세분류되고 있음
- 같은 호 해설서에는 “이 그룹에는 반도체 디바이스 또는 전자집적회로를 제조하기 위한 기계 및 기기가 분류된다. 예를 들면,
- 막 형성 장비(film formation equipment) : 이 장비는 웨이퍼 가공 공정에서 웨이퍼 표면에 여러 가지 막을 형성한다.
- 이러한 막은 완성품 위에서 도체, 절연체 및 반도체 역할을 한다.
- 이들 막은 표면, 금속 및 epitaxial 층의 산화물과 질화물 등을 포함하고 있다.
- 아래에 예시한 공정과 장비들은 특정 타입의 막만을 생성하도록 제한된 것은 아니다.
- …〈중략〉… (b) 화학기상증착 장비(CVD : Chemical Vapour Deposition) : 이 장비는 높은 온도의 반응 chamber 내에서 적절한 가스와 결합하여 만들어진 여러 가지 형태의 필름을 증착시키는 장치이다.
- 이 반응은 열화학적 기상 반응으로 이루어져 있다.
- 이 포함된다.
- 이러한 반응작용은 대기압 또는 저압상태에서 이루어질 수 있고 플라스마 강화를 이용할 수도 있다“ 라고 해설하고 있음
|