HS코드 품목분류 결정례

관세평가분류원

품목분류4과-650

Filtering or purifying machinery for the purpose of semiconductor manufacturing ; CERAMIC FILTER(DIFFUSER) ; VACUUM BREAK FILTER ; JAPAN

철강제 관 형상의 주입구가 형성된 원통형상의 제품(원통은 주로 알루니마 재질의 다공성의 multi-layer 구조임)으로, 반도체 CVD 장비의 CVD process chamber 전후에 위치한 웨이퍼의 LOAD/UNLOAD Chamber에 장착되는 물품이며, chamber로 진공해제를 위한 가스(N2)를 주입할 때 본 물품을 통하여 가스가 주입되면서 가스에 포함되어 있는 이물질이 제거됨 부수적으로 본 품을 통과하여 chamber로 주입되는 가스는 다층의 다공질 구조를 통과하면서 압력이 낮아져 서서히 배출함으로써 챔버 내의 particle들을 바닥으로 가라앉게 하여 wafer의 작업 공정 중 particle이 닿지 않도록 해줌 물품사진 [신청물품] [장착 위치]