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품명 | Other gas filters for semiconductor manufacturing; VOCs Reduction system;; VRS-C |
물품 | 물품개요 반도체 포토 공정 중에 사용되는 감광성 유제 등에서 발생되는 휘발성 유해가스*를 제거하기 위한 여과장치로, 세공이 많은 제올라이트 필터를 이용해 유해가스를 탈착하고 보조적으로 가스 이송을 위한 팬과 필터의 성능을 향상을 위한 전기 가열(재여과) 장치가 하나의 철강재 하우징에 결합되어 있음 대기중에 휘발돼 악취나 오존을 발생시키는 벤젠이나 포름알데히드, 톨루엔, 자일렌, 에틸렌, 스틸렌, 아세트알데히드과 같은 탄화수소 화합물 등으로 호흡기 등을 통해 흡입되며 신경계 장애를 일으키는 발암물질. 물품사진 및 구성도면 제품사양 외관 재질 : 철강재질 SS400 주입구 내경(Inlet pipe) : 250Ø 배출구 내경(Outlet pipe) : 250Ø |
분류 근거 | - 관세율표 제8421호에는 “액체용이나 기체용 여과기나 청정기”가 분류되고 제8421.3호에는 “기체의 여과기나 청정기”가 세분류됨
- 같은 호 해설서 ‘(Ⅱ)액체용이나 기체용 여과기나 청정기’ 그룹에 다음과 같이 설명하고 있음
- “이 호에는 모든 형[물리식·기계식·화학식·자석식·전자식·정전식 등]의 여과기와 청정기를 포함한다.” ..(중략)..
- 구체적으로 (B)기체용 여과기와 청정기에서는 “이 기체용의 여과기와 청정기는 기체로부터 고체상 및 액체상의 입자를 분리하는 데 사용되며 유가물을 회수하거나 유해한 물질을 제거하는 데 사용된다.
- ..(중략)..
- 떄로는 팬(fan)이나 물 분사장치가 결합되어 있다.”라고 하면서,
- 제진기(dust extraction)나 연기필터(smoke filters), 가스 세정기(gas scrubbers), 가스 여과기(gas filter) 등의 물품을 예시하고 있음.
- 본건 물품은 반도체 포토 공정 중에 사용되는 감광성 유제 등에서 발생되는 휘발성 유해가스를 제거하기 위한 기체용 여과기로 보조적으로 팬(가스 이송)과 가열장치(재여과)가 하나의 하우징에 완전한 형태로 결합되어 있음.
- 다만 세계무역기구(WTO) 정보기술협정(ITA, Information Technology Agreement)에 의해 양허된 HSK 8421.39-9021호, “스테인리스강제의 하우징을 갖추고 내경이 1.3cm 이하인 관 구멍을 가진 주입구와 배출구를 갖춘 것”의 요건에는 해당되지 않음.
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