전체 34,271건
HS코드 | |
결정일 | 2015-08-08 |
기관 | 관세평가분류원 |
문서번호 | 품목분류2과-6269 |
품명 | Automatic machines for transport of semiconductor wafers; Wafer Packing System(WPC EVO); FRANCE |
물품 | 반도체소자 제조용 웨이퍼를 FOUP(Front Opening Unified Pod : 공정 내 웨이퍼 운송용기) 또는 FOSB(Front Opening Shipping Box : 공정 외 웨이퍼 운송용기)와 Canister 상호간 Packing·Unpacking·Sorting 용도로 이송하는 기기 기능 Wafer Handling : 웨이퍼 취급과 이송 Wafer Alignment : 웨이퍼 자동 정렬 Wafer Identification : 웨이퍼 ID를 OCR로 인식 Wafer Buffering : FOUP(FOSB)에 웨이퍼를 최대 25매까지 보관 작동 원리 웨이퍼가 담긴 FOUP(FOSB)를 Load Port에 Loading하면 Wafer Transfer Robot이 웨이퍼를 1매씩 장비 내부로 이송 이송된 웨이퍼를 Aligner와 OCR에서 정렬하고 웨이퍼 ID를 인식 확인된 ID로 Canister에 웨이퍼를 Loading Interleaf Transfer Robot을 이용하여 웨이퍼 위에 Interleaf를 Loading 모든 웨이퍼의 이송이 완료되면 작업자가 Canister를 꺼내 뚜껑을 닫음 |
분류 근거 |
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출처
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