HS코드 품목분류 결정례

관세평가분류원

품목분류2과-5177

IMPRINT MACHINE(ST50S-LED)

물품개요 본 건 물품은 패턴이 형성된 RESIN MOLD를 WAFER에 압착시켜 반도체 소자패턴을 형성하는 장비로, 패턴이 형성된 ROLL형태의 SOFT RESIN MOLD FILM을 삽입하여 WAFER상에 RESIN MOLD FILM을 압착 그 패턴이 동일하게 WAFER에 형성되도록 하는 역할을 수행함 Imprint : Resin이 코팅된 Wafer에 패턴이 형성된 Resin mold를 압착시켜 패턴을 형성(기존 Stepper를 이용하여 패턴을 형성하는 방법에 비해 현상공정 생략 가능) 제품사양 Imprint system : UV imprint Throughput : 30wafer/hour, cassette to cassette handling system Wafer size : ~4인치(modify에 의한 6인치 가능) Mold : flexible mold(film type resin mold) using roll type mold Press force : 50kN(serbo motor controlled) 크린룸 환경 : class 100 구성 LOADER, UNLOADER : WAFER를 본 장비에 공급 및 배출 UNWINDER, REWINDER : RESIN MOLD FILM을 공급 및 배출 ROBOT ARM : WAFER를 CHAMBER로 운반 PRE-ALIGN : WAFER의 위치 조정, 정렬 CHAMBER : FILM과 WAFER가 압착되는 공간