전체 34,271건
HS코드 | |
결정일 | 2015-10-16 |
기관 | 관세평가분류원 |
문서번호 | 품목분류2과-7959 |
품명 | 300MM INGOT AUTO MOUNTER |
물품 | 봉상의 실리콘 보올(boule)을 웨이퍼로 slicing공정 전에 진행하는 준비공정으로, 절단기에 고정하기 위한 Work Plate에 Graphite beam을 접착하고 그 위에 잉곳을 에폭시로 접착시키기 위한 장비로, 잉곳을 이송시키는 Gantry machine, 보정값을 측정하는 X선장비, 방향을 이동시키는 Turning machine, 접착을 용이하게 하는 예열기, 잉곳 접착기 등으로 구성됨 기기구성 Gantry Machine : 잉곳을 각 단위요소에 이송시키는 장치 X-ray machine : Slicing 후 웨이퍼의 Orientation이 원하는 값으로 작업될 수 있도록 잉곳의 Real orientation을 측정하고 target과 비교하여 보정값을 산출 Turning machine : 각 기기간 잉곳 이동시 이동방향을 변경하는 장치 Pre-heater : 접착력을 높이기 위해 잉곳과 plate을 예열처리하는 장치 glue machine : 잉곳과 plate을 접착하는 장치 |
분류 근거 |
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출처
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