전체 34,271건
HS코드 | |
결정일 | 2014-01-17 |
기관 | 관세평가분류원 |
문서번호 | 품목분류2과-431 |
품명 | KAWASAKI FI ROBOT , 3NS410B-A205, 3NX510B-D001; JAPAN |
물품 | 반도체 제조 공정 중 CVD공정(화학기상증착 공정)에서 AMAT Producer, AMAT Centura Ultima 장비에 장착되는 Wafer를 핸들링 하는 기기 작동 순서 Load Port에 장착되어 있는 FOUP(Wafer 케이스)에서 Wafer를 ARM을 이용해 들어올림 들어올린 Wafer를 고정된 STAGE로 옮김 STAGE 위 Wafer를 다시 ARM을 이용하여 들어올림 들어올린 Wafer를 2번째 FOUP(Wafer 케이스)옮긴다 1~4번 반복 작동 수행 |
분류 근거 |
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출처
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