HS코드 품목분류 결정례

관세청

품목분류47281-306

미완성 건식 식각기 ; EMAX Chamber with Std. Accessary(Centura 5200)

□ 기능 및 용도 : 기존 식각기의 Up-grade를 위하여 주요부품이 수입됨, 식각기는 웨이퍼에 회로패턴을 형성하기 위해 반응성가스를 진공 Chamber내에 주입하고 RF 파워를 인가하여 플라즈마를 형성시켜 웨이퍼상의 산화 절연막을 물리적 또는 화학적 작용에 의해 선택적으로 제거하는 기기임 □ 완성품 대비 수입제시된 물품의 구성요소 및 기능 식각기의 완성품은 Main Frame, System Controller, RF Generator, Chiller, Dry Pump로 구성되며, Main Fram은 다음과 같은 요소로 구성 Transfer Module(Loadlock Chamber, Transfer Chamber, Orienter Chamber) Process Chamber(Chamber, Turbo Molecualr Pump, RF Match, End Point Detect) Gas Panel 완성품중 수입제시된 부분(가격대비 61%)은 Process Chamber 3EA, Gas Panel중 Gas 공급라인, Gas 공급조절장치 System Controller중 Process Chamber 제어용 Interface Board등 일부 RF Generator 3EA 나머지 부분은 기존 설비 이용 및 국내 공급 Main Frame중 Transfer Module, Gas Panel중 일부 System Controller중 일부 Chiller[Heat Exchanger] 3SET Dry Pump 5EA