전체 34,271건
HS코드 | |
결정일 | 2001-11-22 |
기관 | 관세청 |
문서번호 | 평가분류47281-7250 |
품명 | BMU(Beam Matching Unit) |
물품 | KRF Eximer Laser 발생장치에서 KRF기체의 여기과정중에 발생되는 빛을 집적하여 방출하는 파장 248nm급 원자외선 레이저빔을 이용하여 1:4로 노광하는 장비에 사용되는 기기로 쟁점물품은 Main Body에서 콘트롤된 Light Source가 레이저 발생부를 통하여 빔을 노광기 본체에 전달하기 위한 광전송 통로유니트로 분리설치된 광원과 노광기 본체를 밀폐·결합하여 외부에서의 간섭을 차단함으로서 노광공정에서 필요로 하는 광량을 안정적으로 공급하기 위한 광전송 통로의 역할을 수행하는 기기 |
분류 근거 |
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이 코드의 다른 결정례3
출처
결정례는 해당 신청 물품에 대한 결정입니다. 다른 물품의 분류를 보장하지 않는 참고 자료입니다.